田中貴金属、真空成膜装置部材に付着した貴金属を容易に回収する手法を開発

田中貴金属工業は、半導体製造に用いられるスパッタリング装置や真空蒸着装置で生じるPGMスパッタ膜を部材から容易に回収することを可能とする治具洗浄関連キーワードはありません