半導体製造を支える高純度蛍石、回収SF6ガスから生成：大型処理プラントを製作へ

住友電設は、名古屋工業大学と共同研究した成果を活用し、富山県高岡市に年間2トンの回収SF6（六フッ化硫黄）ガスを処理するための大型プラントを製作すると関連キーワードはありません