加速器を用いた「省電力次世代EUV露光技術」開発へ：消費電力は既存EUV光源の1/10に

高エネルギー加速器研究機構（KEK）は、エネルギー回収型線形加速器（ERL）と自由電子レーザー（FEL）を組み合わせた「次世代EUV（極端紫外線）露光技術」の開発を関連キーワードはありません