半導体向け高純度現像液を回収・再生、長瀬産業系が新工場を開設 | 日経クロステック（xTECH）

TMAHは、半導体製造のフォトリソグラフィー工程で回路を形成する際に使われる。新工場においてSN Techは、半導体工場から回収したTMAH廃液を半導体用TMAHに再生関連キーワードはありません